В НПП "ЭЛТЕХМАШ" разработано промышленное электронно-лучевое оборудование для получения материалов и покрытий путем высокоскоростного испарения и конденсации металлических и неметаллических материалов в вакууме с последующей конденсацией на подложку.
Оборудование позволяет реализовать множество технологических режимов (управление паровыми потоками путем их разделения и чередования, контроль и управление вращением и температурой подложки и т.д.) в автоматическом и полуавтоматическом режимах.
Композиционные, пористые, дисперсно-упрочненные, микрослойные и градиентные материалы можно получать в виде листовых цилиндрических заготовок диаметром до 1000 мм и толщиной до 5 мм.
Технология получения указанных материалов защищена Патентом Украины №74155 от 15.11.2005г.
Технические характеристики установки
| Значение | Параметр |
| Установленная мощность, кВт | 280 |
| Напряжение питающей трехфазной сети промышленной частотой 50 Гц, В | 380 |
| Ускоряющее напряжение электронно-лучевых пушек, кВ | 20 |
| Количество и номинальная мощность электронных пушек n x кВт |
8x60 |
| Диаметр напыляемой подложки, мм | до 1000 |
| Толщина конденсата, мм | 0,1-5 |
| Скорость конденсации, мкм/мин: - для металла - для керамики |
до 50 |
| Количество тиглей*, шт - диаметром 100 мм - диаметром 70 мм |
2 |
| Длина испаряемых слитков, мм | 500 |
| Скорость подачи слитков, мм/мин | 0,28-280 |
| Грузоподъемность механизма подвески и вращения изделия, кг, не более | 100 |
| Масса установки (ориентировочно), т | 20 |
| Площадь, занимаемая установкой, м2 | 80 |
| Уровень рабочего вакуума в технологической камере, Па | 6x10-3 - 1x10-2 |
* Тигли взаимозаменяемы и могут быть расположены в любой последовательности
|
|
|
|
|
1. Рабочая камера 2. Камера пушек |
9. Вакуумная система 10. Система охлаждения |
